激發(fā)輻射的散射將影響樣品中元素的特征輻射強(qiáng)度，這是由于散射過程將影響光譜的背景。此外，還存在兩個主要的效應(yīng)：樣品中激發(fā)輻射被吸收和由此產(chǎn)生的或由其他元素（基體）發(fā)射的熒光輻射及樣品中其他元素的次級激發(fā)（增強(qiáng)）。

　　臺式能量色散X射線熒光光譜儀樣品中測試元素的特征譜線的強(qiáng)度會受到其它元素的干擾，典型的干擾如下：

　　1、逃逸峰

　　逃逸峰的產(chǎn)生機(jī)理：進(jìn)入硅檢測器的X熒光如果其能量比硅的吸收限（1.74KeV）高，那么該入射X熒光會激發(fā)出新的硅X熒光，當(dāng)部分硅的X熒光逃逸出監(jiān)測器時，探測器只能探測到原入射X熒光損失了1.74KeV之后的能量，從而形成逃逸峰。

　　2、和峰

　　和峰的產(chǎn)生機(jī)理：當(dāng)多束X熒光在幾乎同一時間射入檢測器時，這些射線的能譜累積處會出現(xiàn)和峰，檢測器會將其誤判為另外一種元素的特征射線。在針對RoHS禁用物質(zhì)的檢測中，如果鉛大量存在，那么，在Pb-Lb1、Pb-Lα線累積并加倍的位置會出現(xiàn)一個和峰，該峰于Cd的能譜位置重疊，對元素Cd的測定產(chǎn)生影響。

　　3、As對Pb的影響

　　在對RoHS禁用物質(zhì)的檢測中，Pb-Lα線和As-Kα線有重疊，因此，在樣品中含有大量元素As時，會對元素Pb的測定結(jié)果產(chǎn)生影響。

　　4、高Br對Pb的影響

　　當(dāng)樣品中含有大量Br的時候，會把相鄰的Pb、Lb峰蓋住或抬高,則影響到元素Pb的測定結(jié)果。